本站消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种化学源瓶保温装置”，专利申请号为CN202111114345.6，授权日为2024年7月12日。
专利摘要：本发明提供一种化学源瓶保温装置，包括外壳，所述外壳内放置源瓶，所述源瓶具有进入管和排出管，所述进入管和所述排出管穿出所述外壳；所述外壳内安装若干加热器；所述外壳上结合安装与其内部连通的氮气进入管路和氮气排出管路；所述外壳具有真空夹层。所述化学源瓶保温装置有利于源瓶的保温，避免因突然断电降温导致前驱体冷凝导致的管路或阀体的堵塞；通过设置外壳内通氮气，可以在源瓶密封失效时防止前驱体与空气中的氧气或水蒸气发生反应，保证工艺效果；外壳由可拆卸连接的筒体和盖体组成，方便对源瓶进行维护。
今年以来微导纳米新获得专利授权33个，较去年同期增加了450%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了1.77亿元，同比增28%。
数据来源：企查查
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